反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器

一、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品概述：

1、精度更高，響應(yīng)更快，帶網(wǎng)口；

2、管狀分流，不易堵塞；

3、適用于各種低壓和高壓管道；

4、預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高；

5、模擬量輸入 / 輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量；

6、數(shù)字量 采用 RS232/485 MODBUS協(xié)議，可選協(xié)議還包括：Devicenet，Profibus，Ethercat等。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

可適用于多種需要快速響應(yīng)的氣體應(yīng)用，例如：可以滿足反應(yīng)釜充氣流量測(cè)量及控制的快速響應(yīng)需求等。

三、ACU20FD-LH 反應(yīng)釜充氣質(zhì)量流量計(jì)及流量控制器 產(chǎn)品參數(shù)列舉：

滿量程范圍：低量程：2SCCM～30SLM，中量程：30SLM~300SLM，大量程：300SLM~6000SLM

準(zhǔn) 確  度：±0.5%F.S

線       性：±0.5%F.S

重復(fù)精度：±0.2%F.S

響應(yīng)時(shí)間：流量計(jì)：＜0.1s ；流量控制器：<0.2s

數(shù) 字  量：RS232/485，MODBUS協(xié)議等

模 擬  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       電：±15VDC，24VDC

工作溫度：0～60℃

工作壓降：<0.01Mpa(流量計(jì)）

工作壓差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       壓：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

溫度系數(shù)：±0.025%F.S/℃

底座材質(zhì)：不銹鋼

密封材質(zhì)：氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠，聚四氟乙烯，F(xiàn)FKM/FFPM等

接       頭：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …卡套、法蘭、快插、寶塔等。。。

如果所需性能要求與上述性能不同，可以溝通定制。