沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計

一、產(chǎn)品概述： 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計  

u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量

u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進行精確控制

u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊

u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感

u 采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動

u 提供用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。

二、產(chǎn)品應(yīng)用：

-- 已廣泛應(yīng)用于沉積工藝領(lǐng)域，如陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的沉積設(shè)備。

-- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計便可取代多臺設(shè)備的功效。

-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。

三、技術(shù)參數(shù)：沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計